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随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。
真空预冷装置中使用的真空泵大多为旋片式真空泵。虽然带有空气压载装置的旋转叶片泵可以泵出含有少量水蒸气和大量性气体的混合气体,但在真空预冷过程中,由于蔬菜内部的水分蒸发,大量水蒸气将被泵入旋转叶片泵,水蒸气将在泵腔内冷凝。
这将导致真空泵润滑油乳化变质,严重影响真空泵能达到的极限压力,降低润滑性能,加剧磨损,无法正常工作,甚至严重锈蚀泵体、转子等部件,导致整机报废。因此,建议在真空预冷装置中使用罗茨真空泵。
不只是琥珀可以经过摩擦产生静电的物质,钻石、蓝宝石、玻璃等等,也都可以表现出同样的电学性质,在这里,他成功地击破了琥珀的吸引力是其内秉性质这持续了2000年的错误观念。吉尔伯成的静电验电器可以敏锐的探测静电电荷。在之后的一个世纪,这是优良的探测静电电荷的仪器。
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