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在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。  

真空预冷装置中使用的真空泵大多为旋片式真空泵。虽然带有空气压载装置的旋转叶片泵可以泵出含有少量水蒸气和大量性气体的混合气体，但在真空预冷过程中，由于蔬菜内部的水分蒸发，大量水蒸气将被泵入旋转叶片泵，水蒸气将在泵腔内冷凝。

这将导致真空泵润滑油乳化变质，严重影响真空泵能达到的极限压力，降低润滑性能，加剧磨损，无法正常工作，甚至严重锈蚀泵体、转子等部件，导致整机报废。因此，建议在真空预冷装置中使用罗茨真空泵。