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复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向大气中排气。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

此时叶轮轮毂与水环形成了一定的空间并且这个空间液可以被分成若干个小腔并当叶轮的上部0°为起点那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大且与端面上的吸气口相通，如果此时气体被吸入后当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时小腔由大变小使气体被压缩并且当小腔与排气口相通时气体便被排出，也正是由于水环真空泵工作原理，才形成了水环泵工作性能。