光线通过掩模板投射到晶圆上，光刻机的光学系统（DUV系统的透镜）缩小了掩模板上设计的电路图案，并将光刻胶聚焦在晶圆上。正如前面提到的，当光线照射到光刻胶上时，会发生化学变化，并将掩模板上的图案印在光刻胶涂层上。光刻在芯片制造过程中非常重要，因为它决定了芯片上的晶体管可以有多小。在这个阶段，晶圆将被放入光刻机中，并暴露在深紫外线（DUV）下。大多数时候，它们比沙粒小几千倍。


因技术进步，集成电路芯片内数字电路的物理尺寸越来越小，因而工作电源向低电压发展，一系列新型电压调整器应运而生。电源管理集成电路包括很多种类别，大致又分成电压调整和接口电路两方面。电压调整器包含线性低压降稳压器(即LDO，以及正负输出系列电路，此外还有脉宽调制(PWM型的开关型电路等。电源管理分立式半导体器件则包括一些传统的功率半导体器件，可将它分为两大类，一类包含整流器和晶闸管；另一类是三极管型，包含功率双极性晶体管，含有MOS结构的功率场效应晶体管(MOSFET和绝缘栅双极型晶体管(IGBT等。电源管理用接口电路主要有接口驱动器马达驱动器功率场效应晶体管(MOSFET驱动器以及高电压/大电流的显示驱动器等。


随着电力企业信息化,自动化水平的不断提高,为了加快促进我国电力市场的发展进程,如何通过运用科学的自动化控制产品,不断增强电力企业的整体竞争力,大幅度提升电力电气自动化运行水平,节约成本,已经成为相关发电企业关注的焦点.文章就电力电气自动化元件研究的成因进行探究和分析,对主要的电力电气自动化元件技术进行了详细地阐述,以期通过对全控型电力电子开关取代半控型晶闸管,变换器电路从低频向高频发展和交流调速控制理论越来越成熟等的阐述,促使电气自动化水平大幅度提升,加快推动电力行业的可持续发展.