干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。

真空泵的工作原理分类

　　①抽除式，真空泵抽吸系统中的气体，并将气体分子排至系统之外。

　　②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。

(2)按真空泵结构分类

　　①机械式。这类真空泵类似于压缩机，属于容积型的有往复式与回转式结构，还有属于动力式的涡轮分子泵，它们都属于抽除式真空泵。

　　②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式，还有将二者组合在一起的增压泵，也都属于抽除式真空泵。

　　③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面，属于捕集式真空泵。

按真空泵在系统中的工作职能分类

　　①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。

　　②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时，需要预抽泵先抽至某一压力，主抽气泵方能进入工作。

　　③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时，需串接前级泵排送。

　　④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后，由于系统泄漏或表面蒸发等原因，压力可能升高，因此用维持泵继续抽吸。

螺杆真空泵重新装配前须把各零部件清洁干净、毛刺修光。2、机械密封安装应小心，摩擦副端面应清洁并涂上润滑脂，无密封垫衬或密封圈的静密封面用“106”有机硅橡胶涂料。用干净密封的橡胶密封件，需涂上真空考克脂。螺杆真空泵溢流阀上的密封圈及平面上不得涂任何油脂。3、正确安装轴承使轴转动灵活、无卡阻现象；4、轴封安装：填料和安装时，应使填料压盖压紧螺栓位置在壳体安装窗口内，便于扳手调整螺栓；5、传动轴万向接头装配时，应检查密封圈有否损坏，在空腔内填充润滑脂；


螺杆真空泵的抽气分为吸气、压缩、排气三个过程，驱动电机启动时，由同步齿轮带动螺杆转子同步反方向告诉旋转，通过螺杆转子与泵腔间容积变化进行连续吸排气，气体上侧进入，经过压缩，通过下端排入冷凝缓冲区，压缩冷凝液体进入排液管，不凝液体通过排气孔排出。

1、抽气速率

抽气速率是螺杆真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m3/h来表示。是弥补漏气率的参数。可以通俗一点就是抽一个相同体积的容器，抽气速率大的螺杆真空泵很容易抽到所需的真空度，而抽气速率小的螺杆真空泵很慢甚至无法抽到想要真空度。管路或者容器始终不可能做到不漏气，而抽气速率大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素，大气量的很容易抽到理想真空度值。