干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。

真空泵的工作原理分类

　　①抽除式，真空泵抽吸系统中的气体，并将气体分子排至系统之外。

　　②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。

(2)按真空泵结构分类

　　①机械式。这类真空泵类似于压缩机，属于容积型的有往复式与回转式结构，还有属于动力式的涡轮分子泵，它们都属于抽除式真空泵。

　　②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式，还有将二者组合在一起的增压泵，也都属于抽除式真空泵。

　　③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面，属于捕集式真空泵。

按真空泵在系统中的工作职能分类

　　①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。

　　②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时，需要预抽泵先抽至某一压力，主抽气泵方能进入工作。

　　③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时，需串接前级泵排送。

　　④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后，由于系统泄漏或表面蒸发等原因，压力可能升高，因此用维持泵继续抽吸。

螺杆真空泵的真空度

表示处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用压力值来表示。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，实际应用中，真空度通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa)。