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输送到出口的一种动量传输泵。气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

真空泵的前级压强真空泵口前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的工作压强真空泵的工作压强单位是Pa，它是指对应抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提，降低能耗。液环泵工作原理滑阀泵由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长