安徽半导体氧化设备厂家来电垂询 苏州润玺环保设备
作者:苏州润玺2022/7/10 14:50:03






全自动钢网清洗机是一种柜型立式的清洗机,不锈钢外观精巧大方,能够清洗带有锡膏或者红胶的网版(铜版),并且不会对钢网形成清洗上的损伤。由于自动网版清洗机运用的清洗机技术是超声波清洗。

此外,还加装了喷淋安装,在超声波和喷淋系统的双重作用下,能够十分有效的将网版上的锡膏高压冲洗洁净,并且还会自动枯燥,不会在网版上留下水渍痕迹,运用洁白无瑕的清洁布悄悄往网版上一擦,也不看见白布上有残留物或者灰尘,这也能够阐明,清洗机的清洗效果是值得我们信任的!


半导体清洗设备公司提供湿法设备,包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备,主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。随着半导体芯片工艺技术的发展,工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更***等级,随着工艺流程的延长且越趋复杂,每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤,晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性;清洗设备及工艺也必须推陈出新,使用新的物理和化学原理,在满足使用者的工艺需求条件下,兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。




随着半导体芯片工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更***等级,工艺流程的延长且越趋复杂,产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是***制程对杂质的敏感度更高,小尺寸污染物的清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤,晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。


一种半导体氧化设备,其配有:由室壁界定的可密封氧化室;设置于氧化室内,并用来支撑半导体样品的基座;用于向所述氧化室供应对所述

半导体样品的特定部分进行氧化的水蒸汽的供应部分;监测窗,其设置于所述氧化室的室壁之一内,并且设置于能够面对支撑于所述基座上的所述半导体样品的位置处;监测部分,其设置于所述氧化室之外,并且能够经由所述监测窗面对支撑于所述基座上的半导体样品;以及调整所述基座和所述监测部分之间的距离的调整部分。



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