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在加工过程中，不对其他要素构成全部危害的情况下，消除颗粒的速率是非常要害的。

空气污染物的根源将会存有于手套箱、过虑操控模块等区域。竖直或水准气旋的挑选，在于屋子的结构和机器设备的放置部位，流场就能够将空气污染物带去。

依据洁净室外的主要用途，还能够挑选其他的机器设备，比如，在循环系统风加新风系统处理系统软件中，运用HEPA过滤设备用碳吸咐或类似效果的生成过滤设备处理VOC，静电感应过虑箱。

物理式净化方式

吸附性过滤—活性炭　活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力。

机械性过滤—HEPA网　HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

净化车间的管线十分复杂，所以对这些管线均选用荫蔽***方法。详细荫蔽***方法有以下几种。

1.技能夹层

(1)顶部技能夹层。在这种夹层内通常因送、回风管的断面很大，故作为夹层内首先思考的目标。通常将其***在夹层的上方，其下***电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时，能够在上面设置过滤器及排风设备等。

(2)房间技能夹层。这种方法和只要顶部夹层比较，能够削减夹层的布线与高度，能够省去回风管道回来上夹层所需的技能夹道。鄙人夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层净化车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。