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物理式净化方式

吸附性过滤—活性炭　活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力。

机械性过滤—HEPA网　HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

传递窗

传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的小货物传递，可有效的减少洁净室门的开启次数，把洁净区的污染减少的低程度。根据使用要求，传递窗箱体表面可喷塑，内胆可用不锈钢，外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置，可有效的防止低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内，是净化车间必备佳品。

新风量不同

小粒径粉尘的扩散作用明显，风速低气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高；

经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级（效率数值增加一个9），风速增加一倍，透过率会增加一个数量级（效率降低一个9）；

无尘车间以“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量”为衡量其洁净度的标准；由于十万级无尘车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列：

非单向流洁净室总送风量的10-30%。补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3 /h。