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在加工过程中，不对其他要素构成全部危害的情况下，消除颗粒的速率是非常要害的。

空气污染物的根源将会存有于手套箱、过虑操控模块等区域。竖直或水准气旋的挑选，在于屋子的结构和机器设备的放置部位，流场就能够将空气污染物带去。

依据洁净室外的主要用途，还能够挑选其他的机器设备，比如，在循环系统风加新风系统处理系统软件中，运用HEPA过滤设备用碳吸咐或类似效果的生成过滤设备处理VOC，静电感应过虑箱。

净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板。

无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。