截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有***。

常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生***。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。

废气处理设备，主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的***成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备，让我们的环境不受到污染。工业废气处理指的是专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到***废气对外排放的标准的工作。活性炭吸附-蒸汽脱附-冷凝再生工艺活性炭吸附-蒸汽脱附-冷凝再生工艺(简称“吸附-溶剂回收工艺”)可以实现废气的再生循环利用.在挥发性有机废气的治理中，对于组分少、浓度高的VOCs，吸附-溶剂回收工艺具有较高的实用价值，能回收其中有用成分，产生经济效益，针对集装箱烘房有机废气单独处理，目前部分厂家采用了该工艺.吸附-溶剂回收工艺主要以颗粒状或纤维状活性炭为吸附材料，工艺流程一般包含预处理、吸附、蒸汽脱附、冷凝等处理单元。