操作笨重灵活，真空辅助开关控制通断的转轮不与触头机械接触，因此，操作笨重灵活。接点数目增加与操作力无关，不会有卡死的现象发作。选用真空辅助开关应留意的问题，真空辅助开关的开断性能要顺应回路的参数，真空辅助开关的开断及闭合电流决议于真空舌簧管的特性。目前国内几个厂家均宣称是采用进口舌簧管，所发布的技术参数有所不同。

根据不同场所选用能否带快分装置的辅助开关，F6系列辅助开关分为带速动(快分)和不带速动两种。普通用于隔分开关操动机构的辅助开关要选用带速动装置的，用于断路器操动机构的不用带速动装置。由于隔分开关分、合闸速度较慢，普通为4—12s。这样慢的速度驱动F型机械接触式辅助开关时，其触头间的电弧不易熄灭，会构成切合回路不可靠，并会烧损触头。

一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的穿则主要是微粒效应所致。电极材料，真空开关工作在10-2Pa以上的高真空，由于此时气体分子十分稀少，气体分子的碰撞游离对击穿已经不起作用，因此击穿电压表现出和电极材料有较强的相关性。真空间隙的击穿电压随着电极材料的不同而不同，研究者发现击穿电压和材料的硬度与机械强度有关。

电气监控及报警装置。齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。第二、三、四级均有净化入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分别调节，相互都是***的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系统有可靠得保护，了向真空室的返流。