而真空辅助开关的接点工作于真空或惰性气体介质中，在规则电流下不产生电弧，且接触部分通常镀以金、铑、钯等，确保良好的电接触性能。免维护，不需检修F系列辅助开关触头部位为非全密封结构，灰尘、飞虫、油垢在动静触头处积聚，加上接触部位氧化锈蚀、电弧和镀层磨损，触头弹簧永世变形等，致使丧失导电性能，需求经常维修。而真空辅助开关的中心部分真空管以及衔接铜片，用环氧树脂密封于定盘中，其机械强度高，工作稳定，可以完成免维护。

真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托，低真空：(10～10-3)托，高真空：(10-3～10-8)托，超高真空：(10-8～10-12)托，极高真空：10-12托，托和帕的关系：1 托=1 毫米柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。

一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的穿则主要是微粒效应所致。电极材料，真空开关工作在10-2Pa以上的高真空，由于此时气体分子十分稀少，气体分子的碰撞游离对击穿已经不起作用，因此击穿电压表现出和电极材料有较强的相关性。真空间隙的击穿电压随着电极材料的不同而不同，研究者发现击穿电压和材料的硬度与机械强度有关。

老炼对电极表面的纯化作用也是很重要的。由于电极表面的电子发射容易出现在逸出功较低的杂质所在处，击穿放电同样能使杂质熔化和挥发，同样能提高间隙的击穿电压。老炼过程中若能同时抽气，把蒸发的气态物抽走，效果更佳。电压老炼只适宜用在真空间隙击穿电压的提高，对真空灭弧室触头间隙击穿电压的提高不会有太大的效果。电弧对触头表面的烧损将使电压老练的效果全部失效。