真空泵油的抗泡性，真空泵在运转过程中，由于有空气存在，常会产生泡沫，特别是当油品中含有具有外表活性的添加剂时，则更容易产生泡沫，而且泡沫还不易消逝。光滑油运用中产生泡沫会使油膜毁坏，不只使摩擦面发作烧结或增加磨损，并促进光滑油氧化蜕变。运转中的真空系统内气领会经过密封的真空泵油层不时排出，排出的气领会在油层外表产生大量的气泡，并从泵的排气孔中溢出，形成油品损失和设备污染。加防抗泡剂的泵油，在抗泡效果上有明显进步。

寿命长、抗干扰，机械接点辅助开关的带负载寿命，标准规则为2万次。而真空舌簧管的分断寿命次数是10万次。控制通断的永世磁钢采用稀土磁性材料制成，磁性强，退磁。而且真空辅助开关本身结构可有效地抵御各种磁场和电场的干扰。电接触可靠性高F系列辅助开关接点的通断，是靠机械摩擦接触完成的，产生的电弧使接点表面烧损，触头接触部位干摩擦会使镀银层磨损，影响接触可靠性。

而真空中，由于压强较低，气体分子，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将低于理论计算值几个数量级。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，