真空泵油的抗乳化性，真空泵在运转过程中，系统内的水分与冷气领会排入泵油中， 假如真空泵油的抗乳化性不好，它将与混入的水构成乳化液，使水不易从循环油箱的底部放出，从而可能形成真空度降落和光滑不良。因而抗乳化性是工业光滑油的一项很重要的理化性能。特别在、食品、陶瓷等工业运用真空枯燥过程中，泵油的抗乳化性能更至关重要。抗乳化性好的泵油油水别离才能强，水蒸汽和冷凝气体经过开启气镇阀，会排出局部水蒸汽。另外，低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。

真空灭弧室中的真空度很高，一般为10-3～10-6 帕，此时真空间隙的绝缘强度远远高于1 个大气压的空气和SF6 的绝缘强度，比变压器油的绝缘强度还要高。正因为真空的绝缘强度很高，真空灭弧室中的所有电气间隙都可以做得很小。例如12kV 真空灭弧室的触头开距只有8～12mm，40.5kV 真空灭弧室的触头开距也只要18～25mm，真空灭弧室中的其它电气间隙也在此尺度范围。

关于电极的表面状况，电极的表面状况对真空间隙的击穿电压影响较大。电极表面的氧化物、杂质和金属微粒都会使真空间隙的击穿电压明显下降。此外，无论真空灭弧室的电极表面在制造中加工得如何，大电流开断均会使电极表面变得凸凹不平，这也将使得击穿电压降低。老炼效应，电极老炼有电压老炼和电流老炼两种，在使用真空泵起着很大的作用。