真空的基本概念真空技术中,“真空”泛指在给定的空间内,气体压强低于一个大气压的气体状态,也就是说,同正常的大气压相比,是较为稀薄的一种气体状态。真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。根据真空技术的理论,真空度的高低通常都用气体的压强来表示。在国际单位制中,压强是以帕(Pa)为单位1Pa=1N/m2。另外常用的单位还有托(Torr)、毫米柱(mmHg)、毫巴 (mbar)、工程大气压(公斤/厘米2)等。
真空间隙的绝缘特性,真空中放置一对电极,加上高压时,在一定的电压下也会产生电极之间的穿。它的击穿与空气中的穿有很大不同。空气中的击穿是由于气体中的少量自由电子在电场作用下高速度运动,与气体分子碰撞产生较多的电子和离子,新生的电子和离子又同中性原子碰撞,产生更多的电子和离子。这种雪崩式的电离过程,在电极间形成了放电通道,产生了电弧。
泵开始工作不久,出现低压力P'g。泵继续运转,由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降,入口压力稍有回升至Pg。Pg即是泵获得的稳定的低压力,亦是泵的极限压力。旋片泵的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时,极限压力值比用热传导真空计(热偶计或皮氏计等)测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得气体的分压,后者测得的是被压气体的全压。
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