真空辅助开关的结构，真空辅助开关的触头采用真空舌簧管，其两端与接线端焊接固定，再用环氧树脂密封于聚碳酸酯绝缘定盘中。触头的通断由装在方轴上嵌有永世磁钢的转轮控制。触头的通断靠磁场的近远，转轮不与触头机械接触，因此方轴转动笨重灵活。目前国内几家制造厂的真空辅助开关的整体结构布置都是仿照F6型(每节双触头)设计的。主要是思索F6型在国内应用比较普遍，使其安装尺寸、接线方式、转轴衔接等与F6型兼容可以互换。当然，改动设计也可以与其它型号辅助开关兼容互换。

一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的穿则主要是微粒效应所致。电极材料，真空开关工作在10-2Pa以上的高真空，由于此时气体分子十分稀少，气体分子的碰撞游离对击穿已经不起作用，因此击穿电压表现出和电极材料有较强的相关性。真空间隙的击穿电压随着电极材料的不同而不同，研究者发现击穿电压和材料的硬度与机械强度有关。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，

启动时门打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段通入，通净化气体对泵性能有影响。每当遇到紧急情况可按停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化1min，净化结束马达再停车，关闭惰性气体截止阀。对于双级泵，泵油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少泵油在高真空级中的放气量，以降低泵的极限压力。泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，泵的极限压力也越高。