操作笨重灵活，真空辅助开关控制通断的转轮不与触头机械接触，因此，操作笨重灵活。接点数目增加与操作力无关，不会有卡死的现象发作。选用真空辅助开关应留意的问题，真空辅助开关的开断性能要顺应回路的参数，真空辅助开关的开断及闭合电流决议于真空舌簧管的特性。目前国内几个厂家均宣称是采用进口舌簧管，所发布的技术参数有所不同。

关于电极的表面状况，电极的表面状况对真空间隙的击穿电压影响较大。电极表面的氧化物、杂质和金属微粒都会使真空间隙的击穿电压明显下降。此外，无论真空灭弧室的电极表面在制造中加工得如何，大电流开断均会使电极表面变得凸凹不平，这也将使得击穿电压降低。老炼效应，电极老炼有电压老炼和电流老炼两种，在使用真空泵起着很大的作用。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，