寿命长、抗干扰，机械接点辅助开关的带负载寿命，标准规则为2万次。而真空舌簧管的分断寿命次数是10万次。控制通断的永世磁钢采用稀土磁性材料制成，磁性强，退磁。而且真空辅助开关本身结构可有效地抵御各种磁场和电场的干扰。电接触可靠性高F系列辅助开关接点的通断，是靠机械摩擦接触完成的，产生的电弧使接点表面烧损，触头接触部位干摩擦会使镀银层磨损，影响接触可靠性。

而真空辅助开关的接点工作于真空或惰性气体介质中，在规则电流下不产生电弧，且接触部分通常镀以金、铑、钯等，确保良好的电接触性能。免维护，不需检修F系列辅助开关触头部位为非全密封结构，灰尘、飞虫、油垢在动静触头处积聚，加上接触部位氧化锈蚀、电弧和镀层磨损，触头弹簧永世变形等，致使丧失导电性能，需求经常维修。而真空辅助开关的中心部分真空管以及衔接铜片，用环氧树脂密封于定盘中，其机械强度高，工作稳定，可以完成免维护。

启动时门打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段通入，通净化气体对泵性能有影响。每当遇到紧急情况可按停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化1min，净化结束马达再停车，关闭惰性气体截止阀。对于双级泵，泵油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少泵油在高真空级中的放气量，以降低泵的极限压力。泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，泵的极限压力也越高。