间隙距离，真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。

老炼对电极表面的纯化作用也是很重要的。由于电极表面的电子发射容易出现在逸出功较低的杂质所在处，击穿放电同样能使杂质熔化和挥发，同样能提高间隙的击穿电压。老炼过程中若能同时抽气，把蒸发的气态物抽走，效果更佳。电压老炼只适宜用在真空间隙击穿电压的提高，对真空灭弧室触头间隙击穿电压的提高不会有太大的效果。电弧对触头表面的烧损将使电压老练的效果全部失效。

我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械泵的极限压力。泵循环油量也影响泵的极限压力。随着油量的增多，密封效果越好，泵的极限压力与油量的关系发生变化，终达到油的饱和蒸气压Po。而实际上泵油中含有大量的空气和水分，泵油进入泵腔后，吸收在泵油中的空气和水分又释放出来，泵极限压力与油量的关系向上发展。一般泵油应保持在油位上，使泵的循环油量保持一定。

启动时门打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段通入，通净化气体对泵性能有影响。每当遇到紧急情况可按停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化1min，净化结束马达再停车，关闭惰性气体截止阀。对于双级泵，泵油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少泵油在高真空级中的放气量，以降低泵的极限压力。泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，泵的极限压力也越高。