而真空辅助开关的接点工作于真空或惰性气体介质中，在规则电流下不产生电弧，且接触部分通常镀以金、铑、钯等，确保良好的电接触性能。免维护，不需检修F系列辅助开关触头部位为非全密封结构，灰尘、飞虫、油垢在动静触头处积聚，加上接触部位氧化锈蚀、电弧和镀层磨损，触头弹簧永世变形等，致使丧失导电性能，需求经常维修。而真空辅助开关的中心部分真空管以及衔接铜片，用环氧树脂密封于定盘中，其机械强度高，工作稳定，可以完成免维护。

我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械泵的极限压力。泵循环油量也影响泵的极限压力。随着油量的增多，密封效果越好，泵的极限压力与油量的关系发生变化，终达到油的饱和蒸气压Po。而实际上泵油中含有大量的空气和水分，泵油进入泵腔后，吸收在泵油中的空气和水分又释放出来，泵极限压力与油量的关系向上发展。一般泵油应保持在油位上，使泵的循环油量保持一定。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，

电气监控及报警装置。齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。第二、三、四级均有净化入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分别调节，相互都是***的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系统有可靠得保护，了向真空室的返流。