真空辅助开关的结构，真空辅助开关的触头采用真空舌簧管，其两端与接线端焊接固定，再用环氧树脂密封于聚碳酸酯绝缘定盘中。触头的通断由装在方轴上嵌有永世磁钢的转轮控制。触头的通断靠磁场的近远，转轮不与触头机械接触，因此方轴转动笨重灵活。目前国内几家制造厂的真空辅助开关的整体结构布置都是仿照F6型(每节双触头)设计的。主要是思索F6型在国内应用比较普遍，使其安装尺寸、接线方式、转轴衔接等与F6型兼容可以互换。当然，改动设计也可以与其它型号辅助开关兼容互换。

真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托，低真空：(10～10-3)托，高真空：(10-3～10-8)托，超高真空：(10-8～10-12)托，极高真空：10-12托，托和帕的关系：1 托=1 毫米柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。

真空灭弧室中的真空度很高，一般为10-3～10-6 帕，此时真空间隙的绝缘强度远远高于1 个大气压的空气和SF6 的绝缘强度，比变压器油的绝缘强度还要高。正因为真空的绝缘强度很高，真空灭弧室中的所有电气间隙都可以做得很小。例如12kV 真空灭弧室的触头开距只有8～12mm，40.5kV 真空灭弧室的触头开距也只要18～25mm，真空灭弧室中的其它电气间隙也在此尺度范围。

影响真空绝缘水平的主要因素，真空绝缘是一个十分复杂的物理过程，其机理到目前为止仍没有明确的结论。从实际应用情况来看，主要有以下几个方面：电极的几何形状，电极的几何形状对电场的分布有很大的影响，往往由于几何形状不够恰当，引起电场在局部过于集中而导致击穿，这一点在高电压的真空产品中尤其突出。电极边缘的曲率半径大小是重要因素。一般来说，曲率半径大的电极承受击穿电压的能力比曲率半径小的大。此外，击穿电压还和电极面积的大小成反比，即随着电极面积的增大而有所降低。面积增大导致耐压降低的原因主要是放电概率增加。