测试时，将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位，通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂，影响真空的因素多，对此我们在试验前，应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析，初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后，在试验过程中先对***怀疑泄漏部位进行检查，再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。

真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9。9x104pa。m3/s之间。

为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。测漏压力应不高于设备设计压力的25%，但不低于103MP。设备备保压30分钟后，用扫描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3mm的范围内用吮吸，并应从焊缝底部至上而行。