检漏步骤为：若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。

检漏仪是如何工作的?检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束Mz恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦。