检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作示踪气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。由于氦是惰性气体，对大气无污染，使用比较安全；而且氦的原子量小、粘度小，容易渗透过任何可能存在的漏隙，因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广；另外氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，错判几率小。所以，与其它诸多检漏方法比，检漏具有的优越性。

检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0。6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。

检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。检漏仪启动时间：≤5min。响应时间：≤1s检漏口的。高压力：1500Pa。电源要求：220v，50Hz，单相，10A。工作环境：5-35℃。