检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和***的检测。仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，使氦离子与其它离子分离，通过对此氦离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。

因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。负压检漏法，将被检件装在检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。

真空检漏的具体方法检漏步骤为：检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰，很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气，由于机械泵运转的振动较大的，法兰螺栓容易松动，波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。

检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦。