检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。

检漏仪全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为漏气体使用。消费者在选购检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求，并且在挑选检漏仪时注意这种设备的价格和操作模式，。

将检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率；在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是：检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s数量级，仪器响应快，。