检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

检漏仪启动时间：≤5min。响应时间：≤1s检漏口的。高压力：1500Pa。电源要求：220v，50Hz，单相，10A。工作环境：5-35℃笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；

氦质谱检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对***或环境造成伤害;质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;化学性质稳定，不会引起化学反应;

检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。