主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。放大器。质谱模块。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。检漏仪主要技术指标：小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对***或环境造成伤害；质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；化学性质稳定，不会引起化学反应；据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

对检漏方法的要求：能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是检漏仪常用的检漏方法。

检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。