因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。负压检漏法，将被检件装在检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率

检漏仪是如何工作的?检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束Mz恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

检漏仪主要技术指标：小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s检漏仪优势特点：采用便携式设计，设备外型美观小巧，采用液晶触摸屏设计，有通讯接口，可以方便地将检漏数据输出检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对***或环境造成伤害；质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；化学性质稳定，不会引起化学反应；

质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；