仪器工作在稳定的状态，在仪器的检漏口喷一定量的氦气，分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式，仪器再按开始键，记录清氦所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的优越性，对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，氦气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择，利于对仪器的清氦，保证仪器检测的高灵敏度。

外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低--侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生，需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行检漏。

检漏步骤为：极限压力、升压率都不合格这种情况通常存在大于等于9.9x10-4pa.m3/s的较大漏点，检漏步骤为：.用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，-旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较一遍慢些，***检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

检漏步骤为：若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。