双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件***量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

m3/s的检漏仪进行试验不泄漏，相当于一年泄漏少于2克/年。因此，空调两器的泄漏控制是各空调厂家直面和重视的问题。早期各厂家采用的检漏方法有水检气泡法、肥皂泡法、卤素检漏法等，随着空调市场竞争的加剧，这些检漏工艺已远远不能适应市场的需求，而被逐渐淘汰。为了保证空调两器检漏的可靠性、稳定性和，同时降低用工成本，各生产厂家都开始关注空调两器自动化真空箱氦检工艺。作为的氦检团队，我们在行业内进行了空调两器自动化真空箱氦检工艺的探索与实践。

真空箱氦检漏系统特点：设计工具夹具，满足氦泄漏检测技术的密封要求；干式检查泄漏，检查泄漏后试件无需干燥。氦气检漏系统本身检测产品的密封性能。与传统的防水检测方法和氦气检测方法相比氦气检漏系统安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。个完整的氦泄漏检测系统是昂贵的。那么就需要找一家从事于气密性检测设备、氦质谱检漏仪、氢检漏仪和超高真空采集的公司。