质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞，使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。

如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，在绝热板上方。如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。

氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。