氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

***方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时***难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高***的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成***不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高***的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

氦质谱检漏仪自身***小知识

从事氦质谱检漏仪器，自动化氦质谱检漏系统研发、生产和销售

关注他

(1)前级真空泵的定期换油及深度***；

(2)电磁阀组的超声清洗；

(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期***维护。

检漏仪主要配置：

1. 检漏仪德国普发分子泵

2.优成机械泵

3.渗氦型校准漏孔

4.美国AD放大器

5.质谱模块

6.液晶触摸彩屏

7.宽电压主控板

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪从以往的单方面领域的应用到现在多领域的应用，如：航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等。其实氦质谱检漏仪的领域应用广发也是代表科技的一大进步，常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。

氦质谱检漏仪适用于元件检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。