向容器外喷洒跟踪气体a，用仪器检查容器内是否有气体a。这种方法可以检测泄漏点和泄漏率。这种泄漏检测方法称为真空泄漏检测。氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，在绝热板上方。

氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。

如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。 氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。传统仪器采用反流法放置在主泵前端，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12微米。