双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件***量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点，而空调器的焊点多达几百处，所以单独使用效率低；②吸法的精度与多种因素有关，如果吸与漏孔距离大于10mm时，所检漏率只有实际漏率的3~5%，如果吸的移动速度达到16mm/s，灵敏度将降到30%。由此可见，操作不当极易产生漏检；③吸法只能测单个漏点是否超标，而不能判断整体漏率情况。

氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。

检漏技术在国民经济中占有非常重要的地位，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。真空箱氦检漏系统可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。我国是一个缺乏氦气能源的***，目前市场上的氦气基本都是进口的。氦气是一种的能源。从生产成本和长远考虑，氦检漏系统的使用成本较高。