氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。

氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。为什么要检漏：泄漏与密封相对应。在许多情况下，我们需要密封一定的空间，以防止气体或液体在压力下流入或流出这个空间。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。

传统仪器采用反流法放置在主泵前端，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12微米。如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，一般会造成有效材料的浪费，如***材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，操作空间有限。

氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。