向容器外喷洒跟踪气体a，用仪器检查容器内是否有气体a。这种方法可以检测泄漏点和泄漏率。这种泄漏检测方法称为真空泄漏检测。氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，在绝热板上方。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，***准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。

氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。

检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。