氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。为什么要检漏：泄漏与密封相对应。在许多情况下，我们需要密封一定的空间，以防止气体或液体在压力下流入或流出这个空间。

氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。

如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，一般会造成有效材料的浪费，如***材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、***准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。

质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞，使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，操作空间有限。