氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。

氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、***准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。氢氦是一种理想的跟踪气体:空气中含量低、重量轻、运动速度快、线性运动距离长。在实际使用中，相对容易获得，可以大量使用。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，***准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。

氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。为什么要检漏：泄漏与密封相对应。在许多情况下，我们需要密封一定的空间，以防止气体或液体在压力下流入或流出这个空间。具有一定速度的离子在均匀磁场中以圆轨运动。逆流氦质谱检漏仪的结构特征。这类仪表是基于与不同气体类型有关的油扩散泵或分子泵的压缩比而制作的。