经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

质谱检漏仪仪器的小可检漏率

当仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的的漏孔漏率，称为仪器可检漏率，用Qmin表示。

（1）所谓佳工作条件，是指被检件出气和漏气都小，它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作，因此不需加辅助泵。同时，检漏仪的参量也调整在佳工作状态，这时检漏仪能发挥其性能。

（2）所谓动态检漏，是指检漏时，检漏仪的真空系统仍在对质谱室进行抽气，且仪器的反应时间不大于3s的情况。

（3）所谓小可检，是指检漏仪输出仪表上可以观察出来的微小的指示变化，即小可检信号。这个小可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。本底噪声是由于仪器各参数的不稳定引起的，例台电源电压变化、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大倍数变化、外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。漂移被认为是由于电子学上的原因引起的。如果漏入的氦气产生的输出指示的变化小于噪声和漂移之和，就很难判断究竟是漏气信号还是噪声和漂移指示，因而噪声和漂移值也就成为能否判断出漏气信号的关键值。

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

1、调氦峰方法：

开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

2、调氦峰分辨不好：

①氦和重离子分辨差。

②氦和轻离子分辨差。

3、调氦峰信号小：

①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

②灯丝离电离盒太远。

③分辨不好。

④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。