氦质谱检漏仪的选择

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。

（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。

（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。

（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

氦质谱检漏仪的功能特点：

1、支持正压检漏，负压检漏。

2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。

3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。

4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。

5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。

6、机器的性能支持长时间在线测试。

7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。

8、配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤。

9、双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击。

10、支持定制检漏工作台，更加便捷使用。

氦质谱检漏仪性能试验方法

灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的大波动量。

如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。

浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。

氦质谱仪查漏技术介绍

氦质谱仪查漏法是一-种在线式、易操作，且灵敏度高、抗干扰的监测方法。其在各行业查漏应用中，有真空法、正压法、真空压力法、背压法等4种方法。而在各发电厂的查漏工作中，多采用真空法和正压法。发电机及压力容器、压力管道等的气密性检查多采用正压法，而汽轮机真空系统查漏则多采用真空法进行氨质谱检漏。

该方法使用的气体喷逐块、逐区域地对汽轮机真空系统各设备、各部位喷射氦气。如果某处存在泄漏点，作为检漏示踪气体的复气将随同环境中的空气被吸人，終从真空泵气水分离器排放管排出，通过监测探头在抽气器出口抽吸氦气及其他不凝性气体形成的混合气体，并通过氮质谱仪内的质谱分析功能，分析氮气分子颗粒在靶板上的物质量,判断被检位置的泄漏空气相对量17-81。

在检漏过程中，根据氦质谱仪显示屏上示数变化的情况，判断被检位置是否泄漏，及泄漏的程度。