为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

不同真空范围内的抽气时间计算

中真空领域的抽气时间计算

这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。

真空抽气要考虑的要素：

(1)到达真空度；

(2)抽气速度；

(3)导通率；

(4)实际抽气速度；

(5)气体放出率；

(6)漏率。

用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：

（1）选择表面放出气体少的材料；

（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；

（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。

汽机真空系统检漏方法

空气泄漏造成危害很大，必须采取一些手段在停机和运行时都要进行查找，消除漏点，提高真空。以下是几种常见的检漏手段。

（1）找漏：当停机时，在条件允许的情况下，向凝汽器，然后查找泄漏的地方，发现漏点及时修补处理，处理之后需要再次找漏。找漏的缺点是，必须在停机，而且是在冷态时检漏。另一个缺点是，查漏不完全。那些只有膨胀压力下才有的泄漏，办法找不到漏点。

检漏，不适用于空冷岛检漏。