双工位氦检漏系统构成

（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。

（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。

（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件***量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。

（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。

（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

***的检漏技术—氦质谱检漏技术，其在空调两器生产中的使用情况，针对存在的问题，对自动化氦检技术作了探索并实践。

空调器是由制冷剂在压缩机的驱动下而循环制冷的产品，在这种循环制冷的过程中，制冷系统（尤其蒸发器和冷凝器）是密闭的，一旦制冷剂泄漏，不但制冷效果降低甚至丧失制冷能力，同时污染大气，所以保证制冷系统的气密性是空调器生产的关键。

真空系统的可允许漏气率

真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。

（1）粗略真空系统

真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mBar至1mBar；可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。

（2）中度真空系统

真空系统操作压力范围为中度真空，从1mBar至10-3mBar；可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。

（3）高真空系统

真空系统操作压力范围为高真空，从10-3mBar至10-7mBar；可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。

（4）超高真空系统

真空系统操作压力范围为超高真空，压力低于10-7mBar；可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒