双工位氦检漏系统构成

（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。

（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。

（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件***量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。

（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。

（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。

其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。

所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。

不同真空范围内的抽气时间计算

高真空-超高真空领域的抽气时间计算

这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在0.2Pa以下，对于高真空领域，要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出，因此，抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。

p(t)———到达压强；

Se———实际抽气速度；

Ql———腔体漏气量；

Qg(t)———腔体内部放出气体量；

p0———初期压强。

气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时，假定一个抽气时间，根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致，则重新假定时间，根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复，终让p(t)在所需的真空范围内。

高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150～200℃烘烤处理的两种情况下，后者的气体放出会减少10%左右，因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。

真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料，则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2～3个数量级。内部使用螺钉时，螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出，要在螺钉中心穿孔，或在螺纹侧面开一个出气孔。因此，内部构造越复杂，影响真空的因素就越多，要获得高真空，设计上就更需要经验。