氦质谱检漏方法分析

氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；

目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5.0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。

目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。

真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。

一般来说漏点越大，获的氦气分子量就越多，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。

氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，因此在火电厂***真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压升测试

压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门，放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高（反弹），将压力增加除以经过时间，可以计算出真空系统的压力上升速率，并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，对于一般的工业真空设备，保压测试时，超过1Pa/hr的压升率就需要调查和解决问题，有些高真空的设备，需要0.5Pa/hr甚至更低的压升率

如果多次测量的压升率基本恒定不变，那么很可能系统有真实的泄漏。对应的，随着时间的推移，其压升率下降，即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢，则暗示有虚漏或放气（可能也有小的泄漏）。

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

不锈钢超高真空容器的焊接

A焊接结构设计

超高真空不锈钢容器焊接的结构设计原则为:

(1)尽可能地减少真空容器表面上的焊缝和焊缝长度。

(2)所设计的真空容器上的焊缝应尽量从容器的内表面上焊接，并尽量采用在焊接中焊缝气孔少、不产生冷热裂纹和不加焊丝的气体保护焊一等离子弧焊、 钨极氢弧焊、电子束焊等焊接方法。

(3)焊缝结构应不影响真空容器内表面的精加工( 达到高的表面光洁程度)。

(4)焊缝结构应便于精加工后的清洗处理。

(5)焊缝结构应设计成便于用氦质谱检漏仪进行检漏的结构。