氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。

根据氦气储气库位置与样品的不同关系，氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法，总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。

得到氦质谱检漏器的主要性能指标。

1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。

2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即***到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。

3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

氦质谱检漏仪运用行业的发展

（1）电力行业SF6高压开关与氧化锌避雷器是发电厂及旷野输变电的必要构成一部分，时时因透露造成大面积或局部停电，影响家打造生产，又故障人们的正常生活生计。因此带来的经济流失无意是难以估计的。

①低压开关在连箱是铝铸件，经常简单有砂眼，且漏孔***芜杂，不易清洗。一般采纳检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，尔后向罩内充入氦气，等候定然工夫，必然总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

②腐蚀锌避雷器，是依照电压高低申请，采用差别截面积、不合厚度和一致数量的侵蚀锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其任务情理是在高压输出中如遇雷击，侵蚀锌片电阻变小，大电流对地短路，输电旅程被珍爱。假设透露造成表里不有压差，内部潮湿气体有大概进入，而破不好腐蚀锌片共性，造成。

③电力行业中，电厂的检漏、低压变压器、低压电容器、低压开关管及其他元器件也都响应的采纳氦质谱检谱检漏仪，用一致法子进行检漏。

（2）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（3）真空行业，仪器、仪表行业管道、探讨、阀门、涟漪管、各类真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速***机、激光轴会萃器、高能、加快器、辐照加快器、镀膜机、薄膜真空计,盐雾试验箱。

（4）核出产业铀云散摆设、存储摆设、核发电摆设。

（5）制冷行业冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

（6）不锈钢保温器皿真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

正压法氦质谱检漏

采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸法和正压累积法。其中正压吸法采用检漏仪吸对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的；正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以，实现任何工作压力下的检测。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。正压法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。