经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦质谱检漏仪性能试验方法

反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。

工作真空、极限真空及入口处抽速

质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

一、正压漏孔的制作

漏孔是在壁两侧压力差或浓度差作用下，使气体或液体从壁一侧流到另一侧的孔洞、孔隙或一个封闭器壁上的其它结构。气体之间存在压力差或浓度差时形成气体流动，通过漏孔的气体流动通常称为泄漏。在实际应用中泄漏一般产生在两种状态下，从高压(高于大气压)漏向大气和从大气漏向真空。

漏孔可为负压漏孔，也可为正压漏孔，主要决定于使用条件。在入口压力100(1±5%)KPa，出口压力低于1KPa温度为25±5℃条件下，低于25℃的空气，通过漏孔的流量来校准空气漏率。

在入口压力(大于100KPa—20000KPa)出口压力100KPa，温度23±7℃情况下，漏率值不变的漏孔，为正压漏孔，它受压力、温度、气体种类影响。

正压漏孔常用全金属通导型，其特点反应快，无累积，漏率稳定，不易堵塞。目前常规的正压漏孔可伐压扁型与无氧铜压扁型，大缺点是随着压力增加，漏率值随着压力减小，不能***其原来值，漏孔芯发生形变。由于材料的性质，用于高压漏孔就变得不能。