真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。

3、认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。

4、打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。

5、尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。

密封形式的选择

密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式。

密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。

用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压升测试

压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门，放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高（反弹），将压力增加除以经过时间，可以计算出真空系统的压力上升速率，并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，对于一般的工业真空设备，保压测试时，超过1Pa/hr的压升率就需要调查和解决问题，有些高真空的设备，需要0.5Pa/hr甚至更低的压升率

如果多次测量的压升率基本恒定不变，那么很可能系统有真实的泄漏。对应的，随着时间的推移，其压升率下降，即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢，则暗示有虚漏或放气（可能也有小的泄漏）。

真空箱氦检漏的特征和优点

1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全

2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、。

3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。

4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。

5、技术的密封接头，减少误判。

6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。

7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。

汽机真空系统检漏方法

氦质谱检漏检漏：链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿着氦气喷，喷遍所有的可以漏点，同时保持和分析仪器端点的人员联系，如果端点接收到氦气，说明喷附近有漏点，再反复查找，争取确定吸空的泄漏点。缺点是，由于氦气易挥发，特别是迅速上漂到一大片面积。难以定为漏点。对于死角难以攀登喷气。类似的方法还有卤素法等。

氦质谱检漏，不适用于空冷岛检漏。空冷岛的露天倾斜结构，使得氦气瞬间挥发掉，特别是遇到有风的天气。